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廣東凈化工程控制溫濕度的作用及措施

2023-04-28 1564

  凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)加工工藝要求來(lái)確定,在知足加工工藝的前提下,應(yīng)該考慮人的恬靜感。跟著空氣潔凈度要求的進(jìn)步,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高,必需達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。

  濕渡過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

  然而對(duì)于大部門潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:

  1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

  2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。

                廣東凈化工程

  3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

  壓力差的維持依賴新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透滲出)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

  對(duì)于亂流潔凈室因?yàn)橹饕靠諝獾南♂屪饔脕?lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不外對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求:

  1.送風(fēng)口出口吻流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間比擬,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。

  2.吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大0.2m/s。


文章源自    廣東凈化工程:http://m.xwsk.com.cn/

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