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　　1.亂流式：空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀況。此型式適用于潔凈室等級(jí)1000-100000級(jí)。

　　長(zhǎng)處：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、系統(tǒng)締形成本不高，潔凈室擴(kuò)大比較簡(jiǎn)單，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵作業(yè)臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。

　　缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制造產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止作業(yè)再激活，欲到達(dá)需求的潔凈度，往往須耗時(shí)適當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)刻。

　　2.層流式：層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由掩蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需求較高的環(huán)境運(yùn)用，一般其潔凈室等級(jí)為1-100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻面之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下賤側(cè)污染較嚴(yán)峻。

　　長(zhǎng)處：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，作業(yè)后短時(shí)刻內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

　　缺陷：締造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)大。

　　(2)筆直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器掩蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或作業(yè)人員所發(fā)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它作業(yè)區(qū)域。

　　長(zhǎng)處：管理簡(jiǎn)單，作業(yè)開(kāi)始短時(shí)刻內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀況，不易被作業(yè)狀況或作業(yè)人員所影響。

　　缺陷：結(jié)構(gòu)費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架適當(dāng)占空間，修理更換過(guò)濾器較麻煩。

　　3.復(fù)合式：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供部分超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈地道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或作業(yè)區(qū)域100%掩蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝作業(yè)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員的作業(yè)區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器修理予以隔離，以防止機(jī)器修理時(shí)影響了作業(yè)及質(zhì)量，ULSI制程大都選用此種型式。潔凈地道還有二項(xiàng)長(zhǎng)處：

　　A.彈性擴(kuò)大簡(jiǎn)單；

　　B.修理設(shè)備時(shí)可在修理區(qū)容易履行。

　　(2)潔凈管道：將產(chǎn)品流程通過(guò)的自動(dòng)出產(chǎn)線圍住并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境彼此隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化出產(chǎn)線比較適宜運(yùn)用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

　　(3)并裝部分潔凈室：將潔凈室等級(jí)1000-100000之亂流潔凈室內(nèi)的產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10-1000級(jí)以上，作為出產(chǎn)之用；潔凈作業(yè)臺(tái)、潔凈作業(yè)棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

　　潔凈作業(yè)臺(tái)：等級(jí)1-100級(jí)。

　　潔凈作業(yè)棚：為在亂流式的潔凈室空間內(nèi)以防靜電的通明塑料布圍成一小空間，選用獨(dú)立的HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為較高級(jí)的潔凈空間，其等級(jí)為10-1000級(jí)，高度在2.5米左右，掩蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可以彈性運(yùn)用。

文章源自    廣東凈化工程：http://m.xwsk.com.cn/