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半導體無塵車間的設計及運作注意事項有哪些

2023-08-24 1876

  1.半導體潔凈無塵車間內部要保證粉塵只出不進,因而潔凈無塵車間室內要堅持大于大氣壓的環境。這就需求用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間

  2.為堅持恒溫與恒濕,大型空調設備須調配前述之鼓風加壓體系運用。鼓風機加壓多久,空調就得開多久。

  3.所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主,因而,潔凈無塵車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀,使塵土細菌等在潔凈無塵車間內回旋阻滯的機會與時刻減至最低程度。

湖南凈化工程

  4.半導體潔凈無塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需求的,都得運用氮氣 (98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。

  在半導體無塵車間的制作過程中,除了廠房的主體結構施工以及上述的重點難點外,還有潔凈修建裝修施工、凈化空調體系及其風管、過濾器的施工設備、高純水體系及其管線的設備、高純氣體體系(含特種氣體供給等)及其管線設備、真空體系及其管線的設備、化學品供給體系及其管線的設備、各種排風和排氣體系及其處理設備的設備、消防安全報警體系及其操控設備的設備、變配電、電氣體系及其橋架、配管配線的設備、照明體系及燈具的設備、防微振設備的設備、出產工藝設備及其配管配線的設備等。

  文章源自:湖南凈化工程   http://m.xwsk.com.cn/


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